輪郭形状測定機

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EF550Aシリーズ

解析マクロ搭載で、複雑な解析作業の省力化をサポートします。

  • 可搬性/設置自由度が高い測定機です。
  • リアルタイム出力機能で、測定した拡大形状データが得られます。
  • 輪郭形状解析システムとの接続により、さらに高度な解析も可能です。
測定精度 Z：±（2.5+0.5×|H|）μm以下　H：変位（mm）
X：±（2.5+0.02L）μm以下　L：測定長さ（mm）
分解能 Z：0.25μm　Xスケール：0.1μm
サンプリング数/最小間隔 Max 64,000点　/　Min 0.5μm
測定範囲 Z：30mm　X：50mm
表示倍率 縦（Z）、横（X）：1～2,000倍

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EF800シリーズ

超高速移動、解析機能が充実した高機能輪郭形状測定機です。

  • 検出器過負荷停止機能を標準装備しています。
  • カスタマイズ機能により、頻繁に使用する機能にショートカット設定が可能です。
  • 再測定機能により簡単に再測定が可能、再測定時 新たなプログラム作成は不要です。
Z最大測定範囲 EF800-G：50mm、EF800-N：60mm
X最大測定距離 100mm
X軸真直度 1.0μm/100mm
触針 片刃形　R25μm　8°
設置寸法 W1500×D800mm

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