表面粗さ測定機

機種一覧

SE500Aシリーズ

表面粗さ、うねり測定、および段差測定をパワフルにこなします。多様なパラメータに対応し、複数規格を同時解析できます。拡張性に優れ全ての用途に対応する、洗練されたコンパクトで高性能な測定機です。

  • クラス最高の駆動距離、真直度精度
  • タッチパネルとスイッチ操作を併用
  • 記録紙の有効幅が広く、形状拡大記録に有効
  • あらゆる用途に対応できる組合せが可能です。
測定パラメータ JIS(2001/94/82)、DIN、ISO、ASME
測定範囲/分解能 Z:800μm/0.08nm
最大測定長さ X:55mm
測定倍率 縦:50~200,000、AUTO  横:1~1,000、AUTO
検出器 PU-A4、触針交換式、標準触針:R2μm 60°
組合せ 可搬タイプから据置タイプまで7機種

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SE800シリーズ

ISO、JIS、DIN、ASME、BSなど国際規格や各国新旧規格に対応した測定ができます。このためのフィルタ、カットオフ値、測定長さ、演算方式が各種用意されています。

  • 各国規格に対応しています。
  • データチャートが自由にレイアウトできます。
  • 様々な測定自動化要素を任意に組合わせて、一連の測定動作を実行できます。
  • より高度な解析やフィルタ処理が可能です。
測定パラメータ JIS(2001/84/82)、DIN、ISO、ASME
測定範囲 Z:600μm X:100mm
測定倍率 縦:50~500,000 横:1~5,000
送り速さ 0.05~3mm/s ※高速移動時30mm/s
上下移動範囲 300mm
記録 自由レイアウトで記録できます。

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3D測定

ハイレベルな表面粗さ測定機に、三次元表面粗さ測定機能を付加する事が可能です。対象表面を「線と面」で深く評価できます。

  • データ採取と解析を並列処理できます。
  • 三次元粗さ形状を鳥瞰図や濃淡図で記録できます。
  • 最大1億ポイントのサンプリングで、高分解能測定。
ステージの大きさ 150×150mm
傾斜調整範囲 1°(X、Y)
ステージ移動量 50mm
最小移動ステップ Y:1μm
最大積載質量 5kg
外径寸法・質量 W312×D150×H70mm・約8kg

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ステージ駆動タイプ

高い真直度測定精度をもつテーブル移動型の測定機で、小型で精密な部品が、簡単・高精度に測定できます。

  • デジタルスケールによりデジタルサンプリング
  • 検出器固定の移動テーブル型
駆動距離 100mm、200mm、300mm
真直度 0.2μm/100mm
0.4μm/200mm
0.6μm/300mm
その他 高精度ステージタイプ
モニタによる測定位置決め・測定観察が可能

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非接触検出器

非接触測定により、サンプルにダメージを与えない測定が可能です。コンパクトな光学配置により、既存の非接触検出器では困難だった内径の表面性状測定が可能です。

  • 焦点位置からのズレ量を検出する為、形状に追従して動く部分がなく、高速測定が可能
  • レーザの光量を20段階で変更可能な為、低反射率のワークでも測定が可能
  • オートストップ機能により、検出器が焦点位置まで自動で移動するので、焦点合わせが不要
測定範囲 12~500μm
分解能 0.2~0.5nm
測定範囲内スポット径 約1~25μm
測定精度 1%+0.03μm
繰返し性 10nm
レーザ 最大出力2mW、635nm、Class1(JIS C 6802:2011)

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