「第 40回ネプコンジャパン2026 (第3回パワーデバイス＆モジュールEXPO)」 ご来場ありがとうございました！

■膜厚・段差測定機　Nano Texturer　NT1520（実機出展）
　ユーザー様のご要望にお応えし、半導体業界向けに改良を加えた、
　接触式段差計 NTシリーズの実機を展示致しました。
【特徴】
・X、Y方向両軸測定　ワークの置き直しが不要
　→指定領域一括測定、測定時間の短縮
　　作業者が他の業務を行える、タクトタイムの短縮

・ワイドレンジ検出器　世界最高1,300μm
　→テーブルのレベリングが不要、大きな反り測定も可能
　　※オプションのZ追従で20mm以下の反り測定も可能

・先端頂角15°、半径1μm触針
　→限りなく先端まで15°を保持した触針
　　微細穴・狭ピッチ溝などの形状評価（深さ、壁面形状、等）が可能