「第2回［九州］半導体産業展」ご来場ありがとうございました！

2025.10.20

精密測定機器展示会

2025年10月8日、9日の2日間、マリンメッセ福岡にて開催されました「第2回［九州］半導体産業展」では多くの方に弊社ブースへお越し頂きました。
ご来場まことにありがとうございました。
今回展示致しました製品についてご紹介いたします。

■膜厚・段差測定機　Nano Texturer　NT1520（実機出展）
　ユーザー様のご要望にお応えし、半導体業界向けに改良を加えた、
　接触式段差計 NTシリーズの実機を展示致しました。
【特徴】
・X、Y方向両軸測定　ワークの置き直しが不要
　→指定領域一括測定、測定時間の短縮
　　作業者が他の業務を行える、タクトタイムの短縮
・ワイドレンジ検出器　世界最高1,300μm
　→テーブルのレベリングが不要、大きな反り測定も可能
　　※オプションのZ追従で20mm以下の反り測定も可能
・先端頂角15°、半径1μm触針
　→限りなく先端まで15°を保持した触針
　　微細穴・狭ピッチ溝などの形状評価（深さ、壁面形状、等）が可能

■微細穴三次元形状測定機　FP-Labo（パネル出展）
　世界で初めて半導体Si貫通電極（TSV）などの微細穴に対し非破壊計測を実現
　難度の高い測定も可能とする装置です。
　　・Φ10μm～の穴を深さ300μmまで測定可能
　　・低測定圧0.1μN以下を実現
　　・レシピ作成により自動測定可能

■小型微細形状測定機　ET200Aシリーズ（パネル出展）
　弊社独自の検出方式、直動式を採用した高精度・高再現性の段差測定機です。
　レバー式（てこ式）の検出器では支点のガタツキによる再現性悪化がありますが、支点を持たない
　直動式検出器は高再現性を実現しております。
　また、触圧制御により薄膜・軟質材にも極力ダメージを与えず測定することが可能です。
微細形状測定機（段差計／膜厚計）サーフコーダ ET200

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