微細形状、段差、粗さを高精度に自動測定できる微細形状測定機(段差計/膜厚計)サーフコーダをご案内致します。

株式会社小坂研究所

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微細形状測定機(段差計/膜厚計)  サーフコーダ

機種一覧

ET200

二次元表面粗さ解析及び段差測定に最適で、高精度・高分解能・優れた安定性を実現、また、微少測定力で軟質試料面にも対応しています。

最大サンプルサイズ φ160×厚さ48mm
再現性 1σ  1nm以内
測定範囲 Z:600μm  X:100mm
分解能 Z:0.1nm  X:0.1μm
測定力 10μN?500μN
ET4000

微細形状測定機(段差計/膜厚計)サーフコーダ ET4000

精度・安定性・機能性抜群で、FPD基板・ウエハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動微細形状測定機です。また、多機種の中から用途に合わせて選択できます。

  • ET4000A・・・多機能な全自動微細形状測定機
  • ET4000L・・・大きいサイズにも対応できる全自動微細形状測定機
  • ET4000M・・・リーズナブルで高性能な汎用微細形状測定機
最大サンプルサイズ 210×210mm?300×400mm
再現性 1σ  0.5nm以内
測定範囲 Z:100μm  X:100mm  (Y移動量:150?400mm)
分解能 Z:0.1nm  X:0.01μm
測定力 0.5μN?500μN
ET5000

微細形状測定機(段差計/膜厚計)サーフコーダ ET5000

サンプルサイズ880×680mmまでの大型ワークピースが高精度で自動測定できます。また、サンプルのロード/アンロードできるオプションも用意されています。

  • 全自動大型ワーク測定用。
最大サンプルサイズ 880×680mm
再現性 1σ  1nm
測定範囲 Z:100μm  X:100mm
分解能 Z:0.1nm  X:0.1μm
測定力 0.5μN?500μN

付属品一覧