微細形状、段差、粗さを高精度に自動測定できる微細形状測定機（サーフコーダ）をご案内致します。

ナノレベルの微細形状を正確にトレースし、あらゆる形状要素を解析できます。また、微少測定力により、軟質試料面測定に適します。

• ET3000i・・・新旧規格の表面粗さ解析および段差測定を主とした測定機です。
• ET3000F・・・段差、距離、交角、半径等あらゆる輪郭形状解析を主とした測定機です。

精度・安定性・機能性抜群で、FPD基板・ウエハー・ハードディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動微細形状測定機です。また、多機種の中から用途に合わせて選択できます。

• ET4000A・・・多機能な全自動微細形状測定機
• ET4000L・・・大きいサイズにも対応できる全自動微細形状測定機
• ET4000M・・・リーズナブルで高性能な汎用微細形状測定機

サンプルサイズ880×680mmまでの大型ワークピースが高精度で自動測定できます。また、サンプルのロード/アンロードできるオプションも用意されています。

• 全自動大型ワーク測定用。