精密測定機器

表面粗さ測定機

ダイヤモンド触針あるいは光触針で加工表面をトレースして、その表面の微細な凹凸を検出し、定性的、定量的に解析する装置です。

輪郭形状測定機

加工部品を触針でトレースして輪郭を検出し、輪郭形状、各部位の角度、半径、間隔、段差量などを求める装置です。

表面粗さ・輪郭形状測定機

表面粗さ測定機と輪郭形状測定機それぞれの最高を集めて、一体化したリーズナブルな装置です。

微細形状測定機

FPD基板、ウェハー、ハードディスクなどの微細形状、段差、粗さを高精度に自動測定できます。

真円度・円筒形状測定機

円筒、球、平面部分を持つエンジンシリンダ、ピストン、モータシャフト、ベアリングなど、加工物の真円度、真直度、円筒度、同軸度などの形状精度を評価する装置です

細穴測定機

シリコン貫通電極・各種ノズル穴やMEMS等、直径5μmの極小径の光ファイバの接触式プローブを用いることにより、以上の穴や溝内部微細形状を数nmの分解能で非破壊測定できます。

多関節型三次元測定機

ロボットアームタイプの三次元測定機で、自由自在かつ広範囲に移動する測定アームにより、任意の位置（座標）を任意の方向から思いのままに測定できます。
自動車の形状、寸法、位置や変形量の測定、パイプ曲げ長さと曲げ角度の測定、三次元デジタイザーとしてCAD入力用のデータ測定などの用途に広く使用されています。

応用機器

用途に合わせた特別設計機器、リーズナブルな複合機器、標準仕様を拡張した拡張機器など、各種アプリケーション機器です。

標準片

高精度／超精密な表面性状測定用 校正標準片です。