1回の測定で"輪郭形状"と"表面粗さ"が精度よく測定できます。
| Z分解能/測定範囲 | 0.0075μm/5mm 0.012μm/8mm |
|---|---|
| 触針 | R2μm/0.75mN/60° R25μm/10mN/25° |
| 解析項目 | 形状解析(要素、スカラ量、統計量、公差判定) 表面粗さ(JIS、ISO、DIN、ANSI、BS) 表面うねり(JIS) |
高い分解能で広いダイナミックレンジの測定を可能にした、デジタル表面形状・粗さ測定機です。
| Z分解能/測定範囲 | 0.00075μm/±6mm(0.0015μm/±12mm) |
|---|---|
| Z検出方式 | 半導体レーザスケール |
| 触針 | R2μm/0.75mN/60° R25μm/10mN/25° |
| 解析項目 | 形状解析(要素、スカラ量、統計量、マスタ比較、公差判定) 表面粗さ(JIS、ISO、DIN、ANSI、BS) 表面うねり(JIS) |